0755-33140036
搜索

电动平移台的分类

  电动平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置,通过丝杠将步进电机的角平移转换为平台平移。通常情况下该系统由三部分组成:平移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。平移台则是系统的心脏,主要指标参数有平移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

  电动平移台传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动,极高的螺杆品质使平移台拥有的分辨率、定位精度。采用超高等级交叉滚珠导轨,具有超高的运动性能。该系统采用光栅尺闭环控制,在确保大行程的同时,分辨率达到了1nm。按照定位精度区分,电动平移台可分为1nm高精度平移台、5纳米精度和10纳米精度平移台、亚微米精度平移台。

  1)1nm高精度电动平移台。

  该系类平移台可分为谐波齿轮5相步进电机驱动和普通的5相步进电机两种类型的平移台。采用光栅尺位置反馈闭环控制使其分辨率可达到1纳米,重复定位精度可达到±2nm,可提供20mm、40mm和50mm三种不同的行程,并可以组装成多维电控运动系统。

  2)5nm精度电动平移台

  该系类产品是一款拥有5纳米定位精度的闭环控制平移台,可提供20mm、40mm、和50mm三个不同的行程,由于采用光栅尺位置编码闭环反馈控制,使其拥有好的分辨率、定位精度及重复定位精镀。

  3)10nm精度电动平移台

  该系类电动平移台是拥有10nm分辨率的闭环反馈定位系统。其采用光学线性位置编码器,在提供大行程的同时,使设备拥有较高的精度。该系类评议台可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的电动平移台。

  4)亚微米分辨率电动平移台

  该系类平移平台是指分辨率可达到亚微米精度的精密运动系统。该系统也是光学编码闭环控制,精度可达到50-100nm,可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的电动平移台,并可以根据需求组成二维电动平移台。

  此外该系列平移台提供在真空条件下的同规格的电动平移台,可承受的真空度可达到10-4Pa,相当于10-6 torr的真空度。


电动位移台